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一种针对半球谐振子的质量调平系统及质量调平方法.pdfVIP

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  • 2023-12-09 发布于四川
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一种针对半球谐振子的质量调平系统及质量调平方法.pdf

    本公开涉及一种针对半球谐振子的质量调平系统及质量调平方法，所述系统包括：激励模块用于激励待调平的半球谐振子产生振动；激光干涉仪包括至少两个检测探头，至少两个检测探头用于采集半球谐振子的至少两个位置的振动信息；离子束刻蚀模块，用于使用离子束对半球谐振子进行刻蚀；控制模块用于根据半球谐振子在振动衰减过程中的至少两个位置的振动信息，确定半球谐振子的振动主轴的方位以及频率裂解的大小；根据半球谐振子的振动主轴的方位以及频率裂解的大小，控制离子束刻蚀模块使用离子束对半球谐振子进行刻蚀，以实现对半球谐振子的质

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117190994A

    (43)申请公布日2023.12.08

    (21)申请号202311088706.3

    (22)申请日2023.08.28

    (71)申请人清华大学

    地址100084

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