一种耐高温宽量程蓝宝石F-P干涉仪光纤压力传感器.pdfVIP

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2023-12-09 发布于四川
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一种耐高温宽量程蓝宝石F-P干涉仪光纤压力传感器.pdf

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本发明涉及一种耐高温宽量程蓝宝石F‑P干涉仪光纤压力传感器，属于光纤传感技术领域。该传感器由三层蓝宝石晶片直接键合而成，包括蓝宝石衬底、带通孔的蓝宝石晶片和感压蓝宝石晶片。利用飞秒激光在蓝宝石晶片中心刻蚀通孔及粗糙化感压蓝宝石晶片外表面。密封的空气Fabry‑Perot腔用于测量压力，蓝宝石Fabry‑Perot腔用于测量温度。本发明采用全蓝宝石结构，利用蓝宝石晶片原始抛光面作为Fabry‑Perot腔的反射面，有助于降低解调出的光学腔长波动，提高压力分辨率，传感器适用于1000℃的高温环境，可

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117191236A

(43)申请公布日2023.12.08

(21)申请号202311157784.4

(22)申请日2023.09.08

(71)申请人北京理工大学

地址100081

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