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一种功率半导体器件键合线的寿命预测模型构建方法,包括:设计功率循环老化实验,获得器件不同功率循环周期数下键合界面的裂纹长度及温度波动;建立不同裂纹长度键合界面的器件3D模型,并在不同裂纹长度键合界面的器件3D模型下,进行有限元仿真,获取键合界面的不同温度波动∆T,以及各温度波动∆T下键合界面对应的应变强度因子DK;根据裂纹长度l及相应的∆T、相应的DK,拟合出DK关于∆T及l的函数关系式;根据DK关于∆T及l的函数关系式,及步骤1中不同功率循环周期数下键合界面的裂纹长度及温度波动,获得键合界面的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117195665A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311471667.5
(22)申请日2023.11.07
(71)申请人湖南大学
地址410012
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