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2023-12-09 发布于四川
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一种类环形MEMS陀螺仪及其制作方法.pdf

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一种类环形MEMS陀螺仪，包括第一基板，该第一基板上形成有谐振结构、电极组件，以及用于支撑所述谐振结构的支撑锚点；第二基板，该第二基板上形成有凹槽，从而使所述第一基板和第二基板键合后，形成容纳所述谐振结构的真空腔；采用类环形的谐振结构，由复数个悬浮环与复数个悬浮梁构成，悬浮环是由复数个悬浮环长方体首尾衔接而成的线性多边形，各悬浮环由第一基板的中心沿轴线由内向往分布，相邻悬浮环的各悬浮环长方体之间由悬浮梁相连，悬浮梁是由四个长方体首尾顺次衔接围成、且内开口的横断面呈菱形。本发明有效减少制造误差，使

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117190993A

(43)申请公布日2023.12.08

(21)申请号202311000890.1

(22)申请日2023.08.09

(71)申请人上海大学

地址200444

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