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用于等离子体放电系统中的绝缘法兰装置.pdfVIP

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  • 2023-12-09 发布于四川
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用于等离子体放电系统中的绝缘法兰装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于在等离子体放电系统中的绝缘法兰装置。该装置包括第一法兰，第一法兰用于电极上铜棒的引出以及固定电极；第二法兰，第二法兰用于通入实验气体以及连接电极和石英管；第三法兰，第三法兰用于石英管以及固定石英管；电极包括铜棒、聚乙烯棒和铂丝电极，电极接入高压交流电源，与外部接地电极和石英管组成介质阻挡放电结构；设有用于对电极的定位作用和保证装置的气密性第一密封圈；设有用于对石英管的定位作用和保证装置的气密性的作第二密封圈。该装置能在不影响实验气体通入的条件下，方便电极的接入和更换，确保

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220156704U

    (45)授权公告日2023.12.08

    (21)申请号202321662778.X

    (22)申请日2023.06.28

    (73)专利权人南京理工大学

    地址21009

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