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等离子体处理装置.pdfVIP

等离子体处理装置.pdf

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    本发明提供一种之前完全未见的等离子体处理装置100，可容易地应对更广的用途。等离子体处理装置100设定为包括：固持器3，保持处理对象物W；以及空心阴极电极2，与所述固持器3相向配置，在作为朝向所述固持器3的面的等离子体生成面2a形成了有底的空心7，且所述等离子体处理装置100以可将等离子体生成面为平面的平板阴极电极10与所述空心阴极电极2进行更换的方式构成。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117204124A

    (43)申请公布日2023.12.08

    (21)申请号202180097632.2(51)Int.Cl.

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