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一种重复缺陷的缺陷分类方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-12-09 发布于四川
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一种重复缺陷的缺陷分类方法及系统.pdf

    本发明涉及晶圆检测领域，具体涉及一种重复缺陷的缺陷分类方法及系统。方法包括：获取晶圆的至少一组重复缺陷的位置信息集；获取对应于晶圆的取样位置的总取样数量和取样比例关系，以从晶圆上预先划分的多个取样区域中按照总取样数量和取样比例关系确定在晶圆的不同取样区域中的区域取样数量；根据区域取样数量分别从多个取样区域中选取到对应的取样位置；分别在所选取的取样位置处进行拍照，从而获取到对应于至少一组重复缺陷的缺陷照片集；通过缺陷照片集对重复缺陷进行缺陷分类。本发明实际上提供了一种可提高取样自动化的标准化取样流

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117197617A

    (43)申请公布日2023.12.08

    (21)申请号202311208708.1G06V10/60(2022.01)

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