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PDSOI器件的高温特性及NBTI效应研究.docxVIP

PDSOI器件的高温特性及NBTI效应研究.docx

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    PDSOI器件的高温特性及NBTI效应研究

    PDSOI器件的高温特性及NBTI效应研究

    引言

    随着集成电路技术的不断进步，晶体管器件面临着高压、高温等严峻环境的挑战。特别是在高温环境下，晶体管的性能和可靠性受到了严重的影响。随着半导体技术的不断发展，研究人员开始在PDSOI（PartiallyDepletedSilicon-On-Insulator）器件中研究高温特性及NBTI（NegativeBiasTemperatureInstability）效应，以提高器件的性能和可靠性。

    1.PDSOI器件及其优势

    PDSOI器件，即部分耗尽硅-绝缘体器件，是一种采

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