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本发明公开了一种基于CMUT器件的流量测量设备及方法，涉及流量测量技术领域，其结构包括沿第一方向输送介质的流体传导部件，所述流体传导部件包括至少二处流量测量点，不同所述流量测量点位于第一方向的不同位置，所述流量测量点位置处布置有传感器系统，所述传感器系统包括超声波探头模块，超声波探头模块由上电极﹑振动薄膜﹑绝缘层、硅衬底和下电极依次层叠组成，所述绝缘层靠近所述上电极一侧开设有第一腔体，相比于现有技术，本发明中的流量检测设备结构相对简单，且所使用的方法灵敏度更高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117213570A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311189019.0
(22)申请日2023.09.15
(71)申请人重庆科技学院
地址401331
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