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本发明记载一种SF6/CF4混合气体快速分离回收装置，包括依次串接的第一电磁阀、第一压缩机、碱液池、第一吸附柱、第二吸附柱、第二电磁阀、第三吸附柱；第三吸附柱的出口端并联设置常温气路和深冷气路；常温气路包括依次串接的第三压缩机、第七电磁阀；深冷气路包括第三电磁阀、深冷设备、第二压缩机、第五电磁阀；第七电磁阀、第五电磁阀合并至排口。本发明采用吸附剂先吸附掉一部分CF4气体，虽然吸附后的气体中CF4占比依然很高，但是需要制冷的气体总量明显减少，制冷效率提高；相对于对气体制冷，对固态颗粒活性炭升温则效
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117213169A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311083815.6(74)专利代理机构合肥市浩智运专利代理事务
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