原创力文档- 1
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- 2023-12-13 发布于四川
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本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机快门的漏光检测系统。其包括外接于后续光路上且能够通过光通量控制线性变化及阻值的光通量传感器、用来采集光刻机快门处理信号的采集模块、以及与所述光通量传感器和采集模块相连接的PLC，所述PLC还外接有供电电源。本实用新型的有益之处：本技术方案通过在后续光路上外接一只光敏电阻器，通过PLC采集该光敏电阻器的电压并与从光刻机端的快门开合电信号进行对比，从而可以在问题发生第一时间就侦测出光刻机快门的失效现象，因此仅需要重新洗片曝光即可解决问题，避免了产品的后
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220171400U
(45)授权公告日2023.12.12
(21)申请号202321378595.5
(22)申请日2023.06.01
(73)专利权人苏州励索精密装备科技有限公司
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