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一种MEMS谐振阻尼式高真空压力传感器及其测量方法.pdfVIP

一种MEMS谐振阻尼式高真空压力传感器及其测量方法.pdf

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    本发明公开了一种MEMS谐振阻尼式高真空压力传感器及其测量方法，包括，谐振式高真空压力传感器利用异质材料热膨胀特性的互补降低传感器对温度的敏感，同时利用传感器的频率输出原位测量谐振器温度，从而实现对传感器的温度补偿。为降低被检气体环境中杂质的影响，如颗粒、油污，本发明将谐振器的等效质量设计的足够大，以此降低油污等附着对谐振器振动特性的影响，同时微米级通气孔可有效阻止环境粉尘等进入谐振器工作微环境。为提高传感器输出信号的信噪比和信号强度，本发明利用压阻应变结构敏感谐振器的振动信息。除此之外，本发明

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117213710A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311138344.4

    (22)申请日2023.09.05

    (71)申请人中国科学院空天信息创新研究院

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