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一种图形化复合衬底及其制备方法、LED外延片.pdfVIP

一种图形化复合衬底及其制备方法、LED外延片.pdf

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    本发明公开了一种图形化复合衬底及其制备方法、LED外延片。制备方法包括：在蓝宝石衬底上依次形成异质层和掩膜层；对掩膜层进行图案化处理，形成掩膜图形；基于掩膜图形，采用干法刻蚀工艺对异质层进行图案化处理，在蓝宝石衬底上形成多个凸起结构；采用湿法刻蚀工艺对裸露的蓝宝石衬底进行刻蚀，以在任意相邻两个凸起结构之间形成凹槽结构；凹槽结构的底面为蓝宝石衬底的C面，沿蓝宝石衬底指向凸起结构的方向，凹槽结构的侧壁向凹槽结构的中心倾斜。采用上方案，可兼顾图形化复合衬底的凸起结构底宽以及裸露的蓝宝石衬底C面面积，为

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117219710A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311149430.5

    (22)申请日2023.09.06

    (71)申请人广东中图半导体科技股份有限公司

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