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本发明公开一种原位检测的便携式原子力显微成像装置，包括支撑单元和检测单元，支撑单元包括固定架、第一支撑架和第二支撑架，检测单元包括控制处理器、连接机构、探针机构、光学机构。利用固定架将原位检测的便携式原子力显微成像装置固定在被测设备上，调整第一支撑架、第二支撑架以及连接机构，使光学机构和探针机构移动至被测设备的检测区域的上方，三轴纳米位移台带动微悬臂以及检测探针按照设定的扫描路径移动，控制处理器得到被测设备的观测区域的表面结构数据。本发明的原位检测的便携式原子力显微成像装置，能够在无须对设备进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117214465A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311194097.X
(22)申请日2023.09.15
(71)申请人中国特种设备检测研究院
地址1
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