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提供各种系统及方法，通过使用方案的组合来防止衬底上的背面沉积。方案包括将衬底夹持至基座和/或供应清扫气体至不想要沉积的区域。夹持方法包括静电或真空夹持。此外，提供各种基座及边缘环设计，用于供应清扫气体至不想要沉积的区域。将夹持与清扫结合使用可进一步提高效能，而不会影响在衬底正面的材料沉积。通过将基座的上表面加工成具有轻微的盘状或圆顶状形状(即，分别为凹形或凸形)，可使沿着衬底边缘的夹持更有效。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117222773A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202280030373.6卡尔·弗雷德里克·利瑟
(22)申请日2022.04.15
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