用于电子级氢氟酸制备的纯化控制系统及方法.pdfVIP

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2023-12-13 发布于四川
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本发明公开了用于电子级氢氟酸制备的纯化控制系统及方法，涉及氢氟酸制备技术领域，包括化学预处理单元和参数获取单元，所述化学预处理单元通过酸性沉淀、洗涤处理和蒸发浓缩的操作，从而得到更加纯净的无水氢氟酸，通过离子高频质谱分析仪对得到的无水氢氟酸中的杂质元素含量进行监测，所述参数获取单元对接收的元素含量数据进行整合，并将整合的实时数据传输至中央控制单元。本发明通过化学预处理单元得到更加纯净的无水氢氟酸，通过参数获取单元获取无水氢氟酸中的杂质元素含量，从而节约了大量时间和原料，并且减少了纯化的成本，提高

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117208852A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202311281998.2

(22)申请日2023.10.07

(71)申请人福建天甫电子材料有限公司

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