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半导体装置.pdfVIP

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  • 2023-12-13 发布于四川
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半导体装置.pdf

    一种半导体装置，包括一栅极堆叠，具有一金属栅极层。半导体装置也包括侧壁间隔件，设置于栅极堆叠的两相对侧壁上。半导体装置还包括一U型硬式掩模层，设置于侧壁间隔件上及栅极堆叠上。U型硬式掩模层的顶部的第一宽度大于U型硬式掩模层的底部的一第二宽度。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220172138U

    (45)授权公告日2023.12.12

    (21)申请号202321316911.6

    (22)申请日2023.05.26

    (30)优先权数据

    17/804,1462022

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