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2023-12-13 发布于四川
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本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及光刻机精密运动平台，磁悬浮运动组件，用于对运动平台进行精准定位，并承载平台运动，本发明设置了磁悬浮运动组件，通过把磁悬浮技术和移动电刷无接触驱动技术有机地结合到一起使得设备的精密运动平台的精度更高，并且由于是磁悬浮无接触的运动方式，由于没有摩擦使得设备的精度更加高，并且通过上述技术使设备的体积更加小巧，使其惯性更小抗冲击能力更强，从而进步提高了定位精度，通过独立运动单元模块化与环形磁轨的配合，可以实现同一平台多个精密平台同时运行，并且通过分开设置的上料组件和下料

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117215163A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202311267976.0

(22)申请日2023.09.28

(71)申请人浙江中特微电子有限公司

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