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本发明公开了一种电流检测装置和扫描电子显微镜，包括：探测头，用于检测目标带电粒子以输出电流；高压侧子装置，包括高压模块、信号检测模块和隔离电源模块，高压模块与探测头和隔离电源模块分别连接，以分别向探测头和隔离电源模块提供第一电压，隔离电源模块与信号检测模块连接，以向信号检测模块提供第二电压，信号检测模块与探测头连接，以检测探测头输出的电流，并输出检测信号；低压侧子装置，包括信号采集模块，信号采集模块与信号检测模块连接，用于去除检测信号的所述基准，并输出去除基准后的检测信号至外部设备进行处理。该装
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117219482A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311467263.9
(22)申请日2023.11.07
(71)申请人国仪量子（合肥）技术有限公司
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