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一种超灵敏压力传感器及其制备方法.pdfVIP

一种超灵敏压力传感器及其制备方法.pdf

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    本发明公开一种超灵敏压力传感器及其制备方法，所述压力传感器包括上电极、复合高介电层以及下电极，所述复合高介电层由第一介电层和第二介电层耦合形成，所述下电极、第二介电层、第一介电层和上电极依次层叠设置，所述第一介电层的介电常数为正数，所述第二介电层的介电常数为负数，且所述第一介电层和所述第二介电层的介电常数的绝对值之差小于预设值。本发明解决了现有技术中不能在极端温度环境下进行高灵敏度压力传感的技术问题。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117213671A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311131847.9

    (22)申请日2023.09.04

    (71)申请人西安电子科技大学

    地址7100

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