扫描型显微镜单元、扫描型显微镜和扫描型显微镜单元的校正方法.pdfVIP

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2023-12-13 发布于四川
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扫描型显微镜单元、扫描型显微镜和扫描型显微镜单元的校正方法.pdf

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扫描型显微镜单元具备：输出照射光的光源；光检测器，检测响应于照射光的照射而从观察对象物产生的观察光；MEMS镜，使照射光在观察对象物上扫描，并且将观察光朝向光检测器引导；扫描透镜，将由MEMS镜扫描的照射光导光到显微镜光学系统，并且将由显微镜光学系统成像的观察光导光到MEMS镜；和框部件，以划定开口的方式形成为框状，以使照射光和观察光通过开口的方式相对于扫描透镜配置于显微镜光学系统侧。框部件具有校正部，校正部设置于划定开口的边部，响应于照射光的入射而产生包含光检测器的灵敏度波长的校正光。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117222931A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202280029632.3(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限

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