JB∕T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵.pdf

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ICS23.160

J78

备案号:34895-2012

华人民和

国机械行

业标准

JB厅4081-2011

代替JB!T4081-1991、m厅4082-1991

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2012-04-01实施

2011-12-20发布

中华人民共和国工业和信息化部发布

JBff4081-2011

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