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一种金刚线切割晶棒粘接固定工装.pdfVIP

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  • 2023-12-16 发布于四川
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一种金刚线切割晶棒粘接固定工装.pdf

    本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种金刚线切割晶棒粘接固定工装，包括：固定平台，一侧连接有第一铅垂柱，另一侧连接有第二铅垂柱，第一铅垂柱与第二铅垂柱相对设置；第一挡板和第二挡板，第一挡板与第二挡板平行且间隔地设置于固定平台的上方，第一挡板和第二挡板均设置有用于与晶棒的定向面贴合的板面；所述第一挡板和/或所述第二挡板上设置有固定杆，所述固定杆与对应的所述第一铅垂柱或所述第二铅垂柱螺纹连接，以使得所述固定杆所属的所述第一挡板或所述第二挡板沿所述固定平台可移动。本实用新型能避免相邻两个晶棒的粘

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220179783U

    (45)授权公告日2023.12.15

    (21)申请号202320898527.5

    (22)申请日2023.04.20

    (73)专利权人广东先导微电子科技有限公司

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