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一种晶圆检测移动载台结构以及装置.pdfVIP

一种晶圆检测移动载台结构以及装置.pdf

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    本发明公开了一种晶圆检测移动载台结构以及装置，该移动载台结构包括支柱，以及安装在支柱顶部的载台，该载台的表面均匀开设有孔，在图中未标出，所述支柱的内部设置有功能机构，该功能机构包括吸扫组件，输出部朝向所述载台的进料方向，该吸扫组件的输入端与外部真空设备连接，所述吸扫组件内设置有用于对杂质进行收集的收集件；顶吹组件，输出部朝向所述载台的出料方向；设计的吸扫组件，能够对移动载台上的杂质进行有效的清除，并且能够对晶圆的检测位置进行限位固定，避免在移动中出现位置偏移而影响检测的问题，设计的顶吹组件，能够

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117238803A

    (43)申请公布日2023.12.15

    (21)申请号202311123078.8G01B11/06(2006.01)

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