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本申请提供了一种驻波检测方法及装置，其中，该方法包括：获取待测光刻胶的目标侧壁的灰度图，所述待测光刻胶为被敷设在晶圆上、且执行曝光和显影处理后的光刻胶，所述目标侧壁为所述待测光刻胶在深度方向上的一侧表面；在对所述灰度图的像素记录进行傅里叶变换后得到的频谱图中，提取在所述灰度图的竖直方向的频率分量为零时的频谱曲线；依据针对所述待测光刻胶执行曝光和显影处理的光刻机的预设曝光波长以及所述待测光刻胶的预设折射率，确定所述频谱曲线的基波；基于所述基波以及所述频谱曲线中的多个预设谐波分别对应的幅值，识别所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117234043A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311499880.7
(22)申请日2023.11.13
(71)申请人粤芯半导体技术股份有限公司
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