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2023-12-16 发布于四川
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本申请涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备，包括安装座和设于安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：安装座包括安装台，用于放置晶圆和吸附晶圆；除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，固定轴和卷轴沿第一方向间隔设置，蓝膜的相对两端分别绕设于固定轴和卷轴上；压轮设于固定轴和卷轴之间；驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件用于驱动卷轴沿第一方向移动以将蓝膜铺设于晶圆上方，第二驱动件用于驱动压轮沿第一方向移动以使蓝膜与晶圆相贴合。上述晶圆除尘机构通过移除贴合在晶圆上的蓝膜以除尘，除尘后

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220189567U

(45)授权公告日2023.12.15

(21)申请号202321414454.4

(22)申请日2023.06.05

(73)专利权人昆山思特威集成电路有限公司

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