钙钛矿电池功能膜层制备装置、制备方法及钙钛矿电池.pdfVIP

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2023-12-16 发布于四川
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本申请公开了钙钛矿电池功能膜层制备装置、制备方法及钙钛矿电池，包括：反应机构，反应机构包括外壳和至少一组用于承载和传输芯片的传动机构；外壳具有反应腔，传动机构位于反应腔内；进气机构，用于向反应腔提供气源，气源包括载气和反应气体；气体分配管道，设于反应腔内并与进气机构连通，用于向芯片喷射气源；真空机构，与反应机构通过冷却机构连通，以用于置换气源；冷却机构，用于对置换的气源进行冷却，以使载气和反应气体分离并回收反应气体的冷却产物。本申请的装置能够有效防止反应气体的弥散导致的泵组损坏问题，整体工艺流程

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117241636A

(43)申请公布日2023.12.15

(21)申请号202311121740.6H10K30/50(2023.01)

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