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本实用新型提供了一种镀膜主辊挡板结构以及磁控溅射镀膜设备,涉及薄膜制备技术领域,包括主辊、横梁和两个分别安装于主辊两端的挡板模块,挡板模块包括第一挡板和第二挡板,第二挡板设于第一挡板和主辊之间;横梁上设有相应于第一挡板的第一轨道,第一挡板滑动安装于第一轨道上,第二挡板安装于横梁上,使第一挡板相对于第二挡板移动,用于适应不同宽度的薄膜镀膜;第一轨道上设有相应的可伸缩的第一护罩,该第一护罩的一端安装于横梁上,另一端安装于第一挡板上,用于覆盖第一轨道,使第一挡板移动时,第一护罩相应地伸缩并覆盖第一轨道
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220183371U
(45)授权公告日2023.12.15
(21)申请号202321489552.4
(22)申请日2023.06.12
(73)专利权人重庆金美新材料科技有限公司
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