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一种紫外到红外宽光谱椭偏测量装置及其光路调试方法.pdfVIP

一种紫外到红外宽光谱椭偏测量装置及其光路调试方法.pdf

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    本发明涉及一种紫外到红外宽光谱椭偏测量装置及其光路调试方法，装置包括通过光路连接的起偏臂模块和检偏臂模块；所述起偏臂模块，用于向被测样件发射调制后的宽光谱检测光线；所述检偏臂模块包括分光单元、紫外光谱仪和红外光谱仪，所述分光单元用于将被测样件反射的宽光谱检测光线分束，并将分束得到的紫外光到可见光送入紫外光谱仪、分束得到的红外光送入红外光谱仪。本发明能够有效采集涵盖紫外光‑可见光‑红外光宽波段的数据，可以测量多种材质和形貌的薄膜样品，检测样品范围广、准确性更高、适用性更强。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117233098A

    (43)申请公布日2023.12.15

    (21)申请号202311197330.X

    (22)申请日2023.09.17

    (71)申请人武汉颐光科技有限公司

    地址43

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