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超声复合微细电解、电火花加工应用基础研究的开题报告

摘要：

超声复合微细电解、电火花加工技术是一种新兴的加工技术，它具有高效、高精度、高质量的特点。本文针对该技术的应用基础研究，重点探讨其原理、工艺参数及加工效果，并对其在高精度零件加工、微电子元件制造等领域的应用前景进行了分析。

关键词：超声复合；微细电解；电火花加工；应用前景

1.研究背景

电解加工及电火花加工是四十年来发展起来的一种高精度的加工技术，但由于加工过程中产生的热效应较大，导致工件表面质量及尺寸精度难以满足要求。超声复合技术是一种新型的超声波加工技术，其在微米尺度下的位移效应能够显著地改善电解及电火花加工的加工效果。

2.研究内容

本文主要围绕超声复合微细电解及电火花加工技术，开展如下内容的研究：

（1）超声复合技术的原理及影响因素。

（2）超声复合技术结合微细电解加工的工艺参数及优化。

（3）超声复合技术结合微细电火花加工的工艺参数及优化。

（4）应用实例及加工效果分析。

3.研究方法

（1）超声复合技术的原理及影响因素的研究是通过文献资料调研、实验室测试及数值模拟等方法实现。

（2）超声复合技术结合微细电解及电火花加工的工艺参数及优化是采用Taguchi优化实验设计，对影响实验结果的因素进行优化。

（3）应用实例及加工效果分析则是通过加工试验并对试验结果进行显微结构分析及表面形貌分析，对该技术在实际应用中的适用性进行了评价。

4.研究意义

超声复合微细电解及电火花加工技术具有许多优点，如高精度、高效率、低成本，可广泛应用于高精度零件加工、微电子元件制造等领域。本文的研究成果有助于深入理解该技术的原理，为其在实际应用中提供参考，并对该技术的发展提出新的思路和方向。

参考文献：

[1]罗国风.超声加工技术[M].北京：机械工业出版社，2008.

[2]宋卫华.微机电系统及其应用[M].北京：中国科学技术出版社，2006.

[3]王建中，彭永委，刘灿益.超声复合微细电火花加工的机理研究[J].机械制造与自动化，2019，48(2)：76-80.