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無塵室介紹

有看過從頭到腳包得密不透風、帶著“大蛙鏡”、手套的人嗎？這幾乎已成為無塵室的象徵！光是這一點，我們可以想像在無塵室工作的辛勞。

為什麼他們要穿成這樣呢？？原因是─無塵室，就是要儘量達到“無塵”，而人就是最大的污染源，因此必頇要讓工作人員穿的密不透風，防止不必要的灰塵產生；但即使在無塵室工作的人已經犧牲成這樣，許多無塵室的技術還是沒有辦法讓無塵室的等級再度提升，遇到無法突破的瓶頸。

一般無塵室

目前一般無塵室所遇到最大的困擾就是：產品之不良率仍降不下來！而造成不良率的最大

宗原因，就是那些討人厭的懸浮微粒(partic；le但)一般無塵室所使用的靜電消除器是以交互釋

放正負電的方式來消除靜電，但這方法在消除機台靜電的同時，又會不斷地累積靜電，無法真

正消除機台上不斷產生的靜電。另外，正負靜電在空氣中交錯，會干擾particl的e運動，讓

particl無e法順利被空氣層流帶走，而在空中不斷地盤旋、累積，致使落塵量無法降低，並且容

易落在機台上。

※無塵室定義

無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。

無塵室依等級的不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範有

Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級定義。

※Fed-Std-209E潔淨度定義

※ISO-14644潔淨度定義

ISO的等級劃分，首先定義了微粒的粒徑是從0.1mm到5mm，在此範圍之外就不列入等級表，但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。ISO等級本身歸類為ISOClass1到ISOClass，9其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數。

比較以上兩表我們可看出：

209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆。

在兩表中0.5μm幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑0.5μm的粒子非常具有代表性。

在潔淨度的分類上，不管是在高潔淨度，或是低潔淨度，ISO-14644的範圍比209E都來的廣，因此具有未來性。

※無塵室分類

無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class1~10、0)水平層流方式(Class1~1,00、0)亂流方式(Class1,000~100,0，00其)詳細區分如下表：

※垂直層流無塵室

垂直層流無塵室亦稱為單一流向型無塵室，由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模式的掌控就愈重要。

全面垂直層流無塵室採用模組化鋁擠層流天板，搭配鋁合金高架活動地板，使整個無塵室氣流可由上往下直接循環，搭配高效率過濾風車組，其過濾微粒效果可達99.999％，使整個無塵室的等級可達到Class1~10。0

本公司為「和喬科技」「南亞科技」所興建之Class～110無塵室，經NEBB及IEST國際認證機構嚴格測詴後，各項條件均通過認證合格。本公司所堅持的技術性、專業性、國際化、制度化，在在獲得國際組織的肯定。

※工程實績

▲Class10無0

塵室 ▲Class10無0

塵室 ▲Class10無0塵室

▲Class10無0塵水洗室 ▲鋁合金高架地板施工 ▲鋁合金高架地板完工

▲FFU配置 ▲層流天板施工 ▲層流天板施工

▲貨物傳遞箱 ▲淚滴型無塵燈具 ▲Class100更0衣室

▲空氣浴塵機 ▲配水管路 ▲無塵室外觀隔間

※亂流型無塵室

此類型無塵室大多設計在潔淨度等級要求不高（Class1000~Class100,）00的0無塵室，因氣流循環是以回風柱方式循環，故會在室內產生亂流，其製程及人員所產生的粒子就會在室內打轉，必頇要以潔淨度高的空氣來予以稀釋，並將室內潔淨度控制在某一等級以下，其重點在於掌控微粒的產生速率，進而推算換氣次數，達到控制室內微粒子數量的目的。

※工程實績

▲Class10000無塵室 ▲Class10000無塵室 ▲Class10000無塵室

▲生產線設備 ▲高效率過濾網箱及無塵燈具 ▲生產線

▲更衣室 ▲人員進出口 ▲回風柱

▲無塵室隔間

※無塵室自動化

◎－表示無塵室竣工後應量測之項目

△－表示量測線性監控

※無塵室節能技術

自動化

管理

關掉不需使用之照明設備

省水

關門

天然能源

雨水收集利用

新鮮空氣冷卻

排氣能源再利用

系統

達到最小化之高品質清潔區域

能源利用

電力耗用曲線扁平化