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工艺超纯介质管道安装技术

0.引言：

随着电子、医药行业的迅速发展，生产工艺的不断升级，为了保证电子、医药的产品

运行的可靠性和优良的成品率，对动力系统的需求也越来越高。尤其在水气化的输送管道

上，水气化输送的介质，很多是直接参与产品制程。输送介质的纯度的提高也保证了产品

的成品率。为了保证输送管道内介质的纯度，应运而生了超纯介质管道，如：SUS316BA

管、SUS316EP管、SUS316卫生级管、PVDF、CleanPP、Clean-PVC、PFA管等。本文主要对

电子、医药工艺超纯介质管道安装技术进行简要介绍。

1.超纯介质分类

超纯介质管道顾名思义是输送超纯介质，在电子和医药行业中的超纯介质有超纯气体

（N2(6N)、H2(6N)、O2(4.8N)、Ar(5.5N)、He(6N)、SiH4(5N)、PH3(5.5N)、

AsH3(5.5N)、B2H6(5N)、SiH2Cl2(2N)、NH3(5.5N)、Cl2(5N)、BCl3(5N)、BF3

(4.5N)、SeH2(5N)、GeH4(4N)、CO2(5N)、H2S(4.8N)、CF4(5N)、SF6(5N)、

WF6(5N)、CHF3(4.8N)、C2F6(4.5N)、NF3(4.8N)、C3F8(5N)等其中N为纯度的

表示方法，5N表示为99.999%，5.5N表示为99.9995%，以此类推），超纯水（电阻率

大于18MΩ*cm），化学品（酸：HF、HNOHCL、H2SO4等、碱：NHOH29%。

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TMAH(25%、2.38%)、KOH(45%)、NaOH、NaCO等、有机：Thinner(PGME

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30%+PGMEA70%)、DMSO、MEA、BDG、PGME、PGMEA、NMP、NBA、IPA、

Alcohol、Acetone等）。

2.超纯介质管道基本知识

超纯介质管道主要是输送超纯介质，且保证输送过程中不会影响介质的纯度，在半导

体工艺制程中即使电子气体中百万分之几的微量杂质气体进入工序中就能导致质量下降，

使每个元件的信息量减少，从而使高密度集成电路产品的不合格率增加，故输送管道的选

择至关重要。

下面就超纯管道基本知识简要介绍：

2.1塑料材质类

PVDF管：聚偏氟乙烯

Clean-PP：洁净聚丙烯

Clean-PVC：洁净聚氯乙烯

ClearPVC＋PFA：双套管（外管透明的聚氯乙烯、内管聚四氟乙烯）

2.2不锈钢材质类

不锈钢管道处理方式一般分为AP、MP、BA、EP、V+V。

AP：酸洗管(Acidpickling)；

MP:机械研磨处理或称机械抛光(MechanicalPolish)；

BA：光辉烧钝处理或称光辉退火(BrightAnnealtreatment)/(BrightAnnealing)BA

级管道内壁平均表面粗糙度Ra小于等于0.25μm,最大表面糙度Rmax小于等于3.0μ

m；

EP：电解研磨处理(ElectroPolish)EP级管道内壁平均表面粗糙度Ra小于等于

0.08μm,最大表面粗糙度Rmax小于等于0.5μm；

V+V：真空二重溶解超清精钢或称双真空熔炼Vim(VacuumInductionMelting)+Var

(VacuumArcRemelting)

管道材质处理流程：

EP:光亮退火无损检测化学抛光电抛光

BA:光亮退火无损检测一次清洗

AP:热处理无损检测化学抛光

3.超纯介质管道使用分类

在电子、医药工艺中常用的超纯介质管道按照气体、化学品、纯水专业来划分管道材

料。

电子气体输送管道一般常用材料为SUS316BA管、SUS316EP管，SUS316BA管多用在大

宗气体上，SUS316EP则用在高纯气体和特殊气体上。管道连接方式为全自动轨道焊接。