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多组分动态配气装置.pdfVIP

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  • 2023-12-20 发布于四川
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多组分动态配气装置.pdf

    本申请提供了一种多组分动态配气装置，包括：多路标准气体通路、稀释气体通路和混合气体通路；多路标准气体通路上设有减压阀组和电磁阀组，减压阀组连接多路源气和电磁阀组；稀释气体通路上设有减压阀和第一电磁阀，减压阀连接稀释气源和第一电磁阀；多路标准气体通路通过第一质量流量控制器与稀释气体通路通过第二质量流量控制器连接混合气体通路，利用多路标准气体通路、稀释气体通路各个减压阀、电磁阀、减压阀组和电磁阀组结合对应质量流量控制器来对标准气体通路、稀释气体通路进行动态调整，并将调整后的气体通过混合气体通路上的气

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220194517U

    (45)授权公告日2023.12.19

    (21)申请号202321603346.1B01F23/10(2022.01)

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