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2023-12-20 发布于四川
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本发明公开一种半导体晶圆搬运可变机械手结构，包括自上而下设置的多个执行器，从中间同时向上下两边数，每两个执行器分别设置在同一对滚珠丝杠的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上，左旋滚珠丝杠在上，右旋滚珠丝杠在下，它们的导程相同且同轴相连，其右旋滚珠丝杠的自由端与对应的从动带轮的中心轴同轴连接，这些从动带轮的周长均对应呈整倍数增加，它们通过同步带与主动带轮连同，主动带轮与电动机连接，电动机用于带动主动带轮转动，并通过同步带带动各个从动带轮转动，进而带动与之连接的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠同步转动，从而带动对

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117245675A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311461394.6

(22)申请日2023.11.06

(71)申请人上海广川科技有限公司

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