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具有温度稳定输出的电容式传感器.pdfVIP

具有温度稳定输出的电容式传感器.pdf

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    一种示例系统，包括传感器。该传感器包括具有基底电极的基底以及悬在该基底上方的第一膜。第一膜包括第一膜电极。第一膜被配置为响应于环境条件而相对于基底电极偏转。传感器可操作以测量基底电极与第一膜电极之间的电容。该系统还包括第一导电屏蔽层，该第一导电屏蔽层定位在传感器与该系统的可操作以生成电干扰信号的设备之间。第一导电屏蔽层限定延伸穿过该第一导电屏蔽层的多个第一孔。该系统还包括设置在多个第一孔中的介电材料。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN112055694A

    (43)申请公布日2020.12.08

    (21)申请号201980026739.0威廉·弗雷德里克·贝斯林

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