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本发明中提出的一种半导体三维形貌检测方法及系统，其特征在于，包括以下步骤：在待测样品表面确定多个测量点，多个测量点之间具有预设间距；根据所述预设间距，控制运动台沿X方向或者Y方向移动；以及所述运动台在第一位置和第二位置时，通过至少一个测量传感器获取多个测量点的测量值；根据所述多个测量点的测量值，计算待测样品的三维形貌信息。解决了传统三维形貌检测装置和方法自动化程度较低、易受运动台运动误差影响、彩色共聚焦传感器的性能利用率低的问题。本发明的检测结果不受运动台运动误差影响，可以获得更高精度三维形貌检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117249761A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311259062.X
(22)申请日2023.09.26
(71)申请人睿励科学仪器（上海）有限公司
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