一种用于EFO的电流控制电路.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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一种用于EFO的电流控制电路.pdf

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本发明涉及半导体生产技术领域，公开了一种用于EFO的电流控制电路，包括外部控制模块、受控镜像恒流源模块、电流粗调模块和高速DA模拟输出模块；其中，所述高速DA模拟输出模块、受控镜像恒流源模块和外部控制模块依次连接；所述电流粗调模块分别与所述受控镜像恒流源模块和所述外部控制模块连接。本发明提供的一种用于EFO的电流控制电路，通过使用电流粗调模块，使得可以实现电流随输入自动大范围调节，又由于使用了受控镜像恒流源模块，使得能够实现自动无极调节最大电流限制，有利于EFO控制放电电流，从而控制烧球效果，值

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117251014A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311309315.X

(22)申请日2023.10.10

(71)申请人东莞市凯格精机股份有限公司

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