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一种载流子选择性钝化接触太阳电池及其制备方法.pdfVIP

一种载流子选择性钝化接触太阳电池及其制备方法.pdf

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    本发明涉及了一种载流子选择性钝化接触太阳电池，包括依次设置的第一梯度金属氧化物层、第一非晶硅钝化层、n型制绒晶体硅衬底、第二非晶硅钝化层、第二梯度金属氧化物层；第一梯度金属氧化物层和所述第二梯度金属氧化物层均包括采用纯氩气沉积得到的第一层金属氧化物层和采用氩气和氧气混合气体沉积得到的第二层金属氧化物层。本发明采用梯度金属氧化物层，减少与非晶硅钝化层接触的金属氧化物中氧，避免了非晶硅中的氢与金属氧化物中的氧的反应，提升了载流子选择性钝化接触太阳电池的钝化性能，进而提升太阳电池的热稳定性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN114122154A

    (43)申请公布日2022.03.01

    (21)申请号202111180819.7

    (22)申请日2021.10.11

    (71)申请人中国科学院电工研究所

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