原创力文档- 4
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- 2023-12-20 发布于四川
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本实用新型涉及一种镀膜机载具的接地装置，属于镀膜设备技术领域，能够实现载具接地、加偏压、间歇性接地，且改变载具接地状态时无需停机以及开腔破真空；该装置在真空腔体的主动侧壁上和从动侧壁上分别设一排磁流体；主动侧壁的磁流体内端均设有主动传动轮，从动侧壁的磁流体内端间隔性设置有接地轮和从动传动轮；载具的两侧接触性设置在所述主动传动轮和所述从动传动轮的上方；所述主动传动轮与传动电机传动连接，在传动电机带动下转动；所述接地轮与接地电机传动连接，在接地电机带动下转动，实现与载具底面的接触和分离。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220209306U
(45)授权公告日2023.12.19
(21)申请号202321586686.8
(22)申请日2023.06.21
(73)专利权人苏州迈为科技股份有限公司
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