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本实用新型涉及固晶技术领域，更具体地说，它涉及一种固晶机及其晶圆顶推装置，其包括安装座、顶针、顶推驱动机构和位置调节机构；所述顶针设置在所述安装座上，所述顶推驱动机构用于驱动所述顶针升降；所述位置调节机构用于驱动所述安装座运动，以带动顶针沿X向、Y向或Z向运动，其中，X向、Y向和Z向三者两两垂直。在本实用新型提供的技术方案中，当顶针的实际位置与预设位置出现偏差时，可以通过位置调节机构对顶针的位置进行调节，使顶针可以准确地对位于上料工位处的晶圆进行顶推操作。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220208931U
(45)授权公告日2023.12.19
(21)申请号202321860882.X
(22)申请日2023.07.14
(66)本国优先权数据
202321059009.0
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