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本发明提供了一种具有富硼化钨涂层的工件,包括工件基体,以及依次设置于所述工件基体上的钨层、硼化钨梯度层和富硼化钨涂层;沿所述工件基体向所述钨层的厚度方向,所述硼化钨梯度层中的硼含量逐渐增加;所述富硼化钨涂层中的晶粒为WBy,其中,y为2.5‑4的数值。本发明独特的涂层结构,可使各层间的结合强度将高,各层之间的弹性模量和热膨胀系数从基体到顶层薄膜呈梯度变化,将整体涂层的应力降至趋于零,提高富硼化钨涂层的韧性和结合力。本发明还提供了该具有富硼化钨涂层的工件的制备方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108660424A
(43)申请公布日
2018.10.16
(21)申请号20171
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