一种高效纯化一氧化二氮的方法.pdfVIP

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本方案属于化工原料的纯化领域,具体涉及一种高效纯化一氧化二氮的方法。包括如下步骤:步骤S1:由汽化器给储罐升压,维持储罐压力15~20barg,汽化器将储罐内的低温液体一氧化二氮粗品与环境换热汽化,使得低温储存低液体一氧化二氮汽化成气体;步骤S2:经汽化后的一氧化二氮原料气体进入纯化器中进行纯化,将杂质甲烷去除;步骤S3:氮气加热器对除杂后的一氧化二氮气体进行加热,步骤S4:对干燥器进行再生2次;步骤S5:投用干燥器,控制流量10m3/h,运行20小时。本方法可以将甲烷杂质≤0.1ppm,提纯

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117244260A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311299823.4

(22)申请日2023.10.09

(71)申请人欧中电子材料(重庆)有限公司

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