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本发明属于表面处理技术领域,为提高陶瓷研磨片的性能和金属化后产品可靠性,本发明提供了一种陶瓷研磨片的表面处理方法及装置,通过在纳米粉末环境下应用超声波进行打磨,有效去除陶瓷研磨片表面的毛刺和加工变质层,从而使得锐利区域钝化;随后,采用高压水冲洗和有机溶剂的超声清洗,彻底清除陶瓷研磨片表面的纳米粉末;通过热处理去除陶瓷研磨片表面的有机杂质,并促使陶瓷表面的晶粒在高温条件下逐渐致密化;最后通过快速降温处理防止晶粒异常长大。本发明的表面处理方法可以有效去除表面的污染物,降低表面粗糙度,提高机械强度、表
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117245460A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311517654.7
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人苏州博志金钻科技有限责任公司
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