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本发明公开了一种用于多离轴反射系统的快速装调方法，采用数学模型或光仿真软件等软件分析各参量的失调灵敏度，根据失调特性确定装调次序；采用自准直仪首先完成标准平面镜基准建立，再完成主镜与次镜安装建立装调基准；采用一个调整机构调整离轴反射镜使得系统像质达标的情况下，通过数学模型与工程经验相结合同时确定离轴反射镜与安装面之间的垫片厚度和角度，快速完成系统装调；所述离轴反射镜调节方法根据像面波像差进行泽尼克系数分解，指导倾斜、俯仰、偏心等参数快速调节。本发明不需要离轴镜安装结构有多个自由度量化调节，仅采用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117250771A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311224418.6
(22)申请日2023.09.21
(71)申请人中国科学院光电技术研究所
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