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本发明公开了一种立式高温纯化炉。包括炉壳、加热保温机构、马弗、进气管路、真空管路;所述炉壳内设置有加热保温机构、马弗,所述加热保温机构将马弗围在中间,所述进气管路穿过炉壳、延伸至马弗底部并与马弗内腔连通,所述真空管路分别与马弗内腔、炉壳连通;通过加热保温机构对马弗加热保温,通过进气管路将工艺气体输送至马弗内,通过真空管路保持炉壳内、马弗内的真空度。本发明通过进气管路使得工艺气体进气更均匀,在马弗内更充分受热燃烧,有利于石墨高温下纯化。通过加热保温机构对马弗均匀加热、保温,空腔内的惰性气体进一步隔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117247008A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311311836.9
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人江苏君格志成科技有限公司
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