一种体声波谐振器、滤波器及制备方法.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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一种体声波谐振器、滤波器及制备方法.pdf

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本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器及制备方法，涉及声波谐振器技术领域，通过在功能反射层中设置覆盖无效电容区的DBR反射区抑制声波能量从无效电容区向反射功能层泄露，可以有效减少纵向能量的泄露；而通过设置悬臂部可以改变顶电极截止于空腔上方处的边界条件，使得悬臂部和工作区边界的阻抗不匹配，使得位于谐振器工作区边缘的悬臂部可以反射部分声学模式，通过减少谐振器工作区以外的侧向传播声学模式来改善损失，可以提升其Q值；且由于反射的声学模式没有被传输，其能量不会损失，从而使得一部分反射的侧向声学模式被为所需的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117254785A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202210645909.7H03H9/54(2006.01)

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