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本发明公开了一种体声波谐振器以及滤波器，包括：位于衬底一侧表面的反射功能层；反射功能层设置有空腔以及DBR反射区；位于反射功能层背向衬底一侧表面的底电极；位于底电极背向衬底一侧表面的压电薄膜；位于压电薄膜背向衬底一侧表面的顶电极；沿厚度方向顶电极与底电极重叠的区域中，与空腔重叠的区域为工作区，未与空腔重叠的区域为无效电容区；DBR反射区与无效电容区交叠，顶电极背向衬底一侧表面中位于工作区内设置有闭环框状凸起，闭环框状凸起内侧设置有闭环框状凹陷。通过DBR反射区可以有效减少纵向能量的泄露；而通过设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117254786A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202210645914.8H03H9/54(2006.01)
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