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光罩清洁设备及光罩清洁方法.pdfVIP

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  • 2023-12-23 发布于四川
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光罩清洁设备及光罩清洁方法.pdf

    本发明的光罩清洁设备应用于一光罩盒，光罩盒包括一上盖及一底盘，底盘上供容置一光罩，光罩具有一光罩护膜，光罩清洁设备包括一主壳体、一次壳体、一光罩开盖装置、一运送装置及至少一风刀装置，次壳体是连接该主壳体。光罩开盖装置包括一升降元件及一开盖元件，开盖元件是包括一后背连接部及一罩盖部，而升降元件是用以升降该后背连接部。罩盖部是嵌入于次壳体内，罩盖部与后背连接部形成一光罩入口，且上盖是抵靠于罩盖部上。运送装置包括一滑轨及一光罩盒乘载台。光罩盒乘载台是经由滑轨移动到该光罩入口。其中，当升降元件上升开盖元

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115026060A

    (43)申请公布日2022.09.09

    (21)申请号202110614930.6

    (22)申请日2021.06.02

    (30)优先权数据

    1101081712021.

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