激光曝光机FUJIFILMIP3600PR資料.pptVIP

　 INPREX IP-3600介紹 前言 富士FILMF對於產業用的數位機之開發 數位曝光機的特徵 IP-3600介紹 開發概念 曝光機之構造、動作說明 新機能 導入實績 結論 FUJIFILM的數位成像系統 傳統式曝光的限制 DIGITAL曝光之特點 縮短曝光作業＝提高生產率 INPREX的目標市場 生產線上的實用化 =高生產率 高精度 曝光電路板的範疇 IP-3600的概念 L/S= 25～50μm （1～2mil）實現可以量產化的DIGITAL曝光系統 IP-3600系列的特徵 INPREX LINE UP 實現高精細?高速曝光的曝光技術 曝光頭光學系統構成圖 DMD（Digital Micromirror Device) DMD畫像描繪原理 自動對焦(AUTO FOCUS)機構 機械夾持機構(Mechanical clamp) 各種補正方法 一次對位時倍率設定方法 盲孔靶點照明系統（選配） ALIGNMENT?RETRY（１） 基板的加工精度不佳時,靶點進不到CAMERA的視野,被判 踢退. 之後OP手動修正每一片基板的位置. ALIGNMENT?RETRY （２） INPREX的特徵：商品概念 總結 １．構築高生產性的自動化產線 　　１）傳統曝光機同等以上的生產性 ???1.25μm的解析度可生產160片/小時（IP-3600H) ?實現L/S=1～2mil的生產線 　　２）兩面全自動曝光線 　　 ???縮短工程、省人化 ?作業員的人數減少、一般無經驗的作業員也可操作 感謝您的傾聽Thank you for your attention * CONFIDENTIAL Intelligent printed circuit board exposure system 両面全自動 醫療技術 DIGITAL化 用網路看病 診斷圖像處理 照片技術 DIGITAL化 DIGITAL相機的列印 清晰的照片 印刷出版技術 DIGITAL化 可變印刷 清晰的顏色 電子產品技術 DIGITAL化 多種類 高精密度 PCB曝光系統 DIGITAL化 1980 2005 UVランプ レンズ ミラー マスク CCDカメラ アナログ露光 對應細線路化之要求 為穩定生產,板子的尺寸必須減小 傳統曝光方式的限制 (1)因UV光均勻度不一樣，在邊 緣附近的線寬重覆性不好 (5～10％) (2)底片有脹縮，對位精度會有 問題(500 mm的板子會有 幾十到幾百微米的誤差) 降低生產率和品質 燈管 LENS 平行光镜 底片 CCD CAMERA 傳統式曝光機 曝光頭 DIGITAL畫像處理 ?對位 ?漲縮 DIGITAL曝光 DIGITAL曝光方式的好處 (1)曝光均勻性好 　?有很多光束(BEAM)形成的LINE HEAD。 　?利於細線化 (2)因不使用底片,所以沒有底片漲縮 的問題,依照圖形資料穩定曝光 　　?　大板子的細線路要求也可穩定曝光 　　?　無底片、縮短準備工作時間、減少因粉塵所引起的斷線 問題 提高生產率和品質 確認和 選擇底 片 CAM 設計 製作 底片 檢查 底片 設置 底片 清潔 底片 密著 曝光 CAM 設計 選擇數據資料 雷射 曝光 50um 75um 30um 15um 100um 多層板 IC 載板 試樣 小批量 一般DIGITAL曝光機(LDI)的適用領域 不需要底片 超高精度對位 　　 160 片/小時 （2.5um/1.25um） HDI 大批量 小批量 新開發的畫像處理系統 　　畫素間距1.25μm,可達160枚/小時 　　畫素間距2.5μm也不會影響品質 提升基礎的描繪能力 總體生產性的提升 MECHANICAL CLAMP AUTO FOCUS ALIGMENT RETRY 次世代高密度基板之關鍵 雷射盲孔之靶點讀取 JPCA2008發表的新型開發概念 160panels/hr 160panels/hr 生産性 (*3) 2.5 um/1.25 um 2.5 um (*1) 画素PITCH IP-3600H IP-3600S +/-10 um +/-15 um 對位精度 (*4) 15 um 20 um 最小t L/S (*2) BUILD UP基板（HDI基板） 封裝基板（IC Substrate） MB（Multi Layer) BUILD UP基板（HDI基板） 用途 *1 畫素PITCH可以UPGRADE 到1.25μm（OPTION）*2 最小L/S的性能依照使用的DFR及處理條件會有差異 *3 曝光能量13mj, 基板尺寸=510x610