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空气静压主轴宏微尺度研究进展综述

摘要：空气静压主轴作为精密超精密机床的关键部件，其回转精度高，运转平稳，振动及噪声较传统轴承小，高速回转时

的温升较小。但其存在刚度和承载力较差的问题。因而，有必要对现有的空气静压主轴重要研究成果进行系统的总结及分析。

回顾空气静压主轴的历史发展及研究成果，空气静压主轴的主要研究目的在于提高其承载力、刚度，改善动/静压特性以

稳定性等，并通过改进雷诺方程以及优化结构参数进行实现。同时其微尺度特性也成为研究的热点，研究结果表明，微尺度

特性对于主轴的承载力以及刚度等具有重要影响。本文从空气静压主轴的发展历程、静/动力学性能以及微尺度领域的黏度、

速度滑移和稀薄效应等对空气静压主轴性能产生重要影响的技术进行综述和分析。结合现有的数值模拟方法，对主轴回转精

度的测量和主轴运动状态进行了分析。最后，对空气静压主轴的研究发展趋势进行了预测。

关键词：空气静压主轴；微尺度效应；气体润滑；动静态特性；数值模拟；回转精度

中图分类号：TH161文献标识码：A文章编号：

ReviewonProgressofMacroandMicroScale

ResearchofAerostaticSpindles

Abstract:Asthekeycomponentofprecisionultra-precisionmachinetools,theaerostaticspindleischaracterized

byhighrotaryaccuracy,smoothoperation,lessvibrationandnoisethanconventionalbearings,andlesstemperature

riseathigh-speedrotation.However,ithaspoorstiffnessandload-bearingcapacity.Therefore,itisnecessaryto

systematicallysummarizeandanalyzetheexistingimportantresearchresultsofaerostaticspindles.Reviewingthe

historicaldevelopmentandresearchresultsofaerostaticspindles,theprimaryresearchaimstoimprovetheload

capacity,stiffness,dynamic/staticcharacteristicsandstabilityofaerostaticspindlesbyimprovingtheReynolds

equationandoptimizingthestructuralparameters.Atthesametime,themicroscalecharacteristicshavealsobecome

aresearchhotspot,andtheresearchresultsshowthatthemicroscalecharacteristicsinfluencetheloadcarrying

capacityandstiffnessofthespindle.Thispaperreviewsandanalyzesthedevelopmenthistoryofaerostaticspindles,

static/dynamicperformance,andthefactorsthatsignificantlyaffecttheperformanceofaerostaticspindles,suchas

viscosity,velocityslip,andthinningeffectsinthemicroscalefield.Combinedwithexistingnumericalsimulation

methods,themeasurementofspindlerotationaccuracy